强激光与粒子束, 2007, 19 (10): 1739, 网络出版: 2008-02-18
CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值
Effects of CO2 laser andvacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TN249;O532.2 |
| 栏目: | 粒子束技术 |
| 项目基金: | 国家863计划项目资助课题、新世纪优秀人才支持计划资助课题(NCET-04-0899) |
| 收稿日期: | 2006-12-17 |
| 修改稿日期: | 2007-05-12 |
| 网络出版日期: | 2008-02-18 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(10): 1739. 李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. Effects of CO2 laser andvacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(10): 1739.
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