基于马赫曾德尔干涉原理的优化双锥结构应变温度同步传感

韩晓鹏; 柳春郁; 赵纯龙; 苏杭; 杨九如

doi:doi:10.3788/gzxb20204908.0806004

光子学报, 2020, 49 (8): 0806004, 网络出版: 2020-11-27

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A DOT Structure Based on Mach-Zehnder Interference Principle for Simultaneous Strain and Temperature Sensing

韩晓鹏 ¹柳春郁 ^1,2,*赵纯龙 ¹苏杭 ¹杨九如 ²

作者单位

¹ 黑龙江大学电子工程学院, 哈尔滨 150080

² 电子工程黑龙江省高校重点实验室, 黑龙江大学, 哈尔滨 150080

图 & 表

图 1. DOT结构制作过程示意图

Fig. 1. Schematic diagram of the fabrication process of the DOT

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图 2. 基于MZI的优化双凹锥示意图

Fig. 2. Schematic diagram of DST based on MZI

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图 3. 基于DOT结构的模式干涉分析

Fig. 3. Mode interference analysis based on DOT structure

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图 4. DOT结构的电子显微图像及相应的透射光谱

Fig. 4. Microscope images of DOT structure and corresponding transmission spectrum

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图 5. DOT结构与DDT结构对比分析

Fig. 5. Comparative analysis of DOT structure and DDT structure

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图 6. 应变传感实验装置

Fig. 6. The strain sensing experiment set up

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图 7. 优化双凹锥结构的应变响应

Fig. 7. The strain response of DOT structure

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图 8. 优化双凹锥结构的温度响应

Fig. 8. The temperature response of DOT structure

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韩晓鹏, 柳春郁, 赵纯龙, 苏杭, 杨九如. 基于马赫曾德尔干涉原理的优化双锥结构应变温度同步传感[J]. 光子学报, 2020, 49(8): 0806004. Xiao-peng HAN, Chun-yu LIU, Chun-long ZHAO, Hang SU, Jiu-ru YANG. A DOT Structure Based on Mach-Zehnder Interference Principle for Simultaneous Strain and Temperature Sensing[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2020, 49(8): 0806004.

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图 1. DOT结构制作过程示意图

Fig. 1. Schematic diagram of the fabrication process of the DOT

图 2. 基于MZI的优化双凹锥示意图

Fig. 2. Schematic diagram of DST based on MZI

图 3. 基于DOT结构的模式干涉分析

Fig. 3. Mode interference analysis based on DOT structure

图 4. DOT结构的电子显微图像及相应的透射光谱

Fig. 4. Microscope images of DOT structure and corresponding transmission spectrum

图 5. DOT结构与DDT结构对比分析

Fig. 5. Comparative analysis of DOT structure and DDT structure

图 6. 应变传感实验装置

Fig. 6. The strain sensing experiment set up

图 7. 优化双凹锥结构的应变响应

Fig. 7. The strain response of DOT structure

图 8. 优化双凹锥结构的温度响应

Fig. 8. The temperature response of DOT structure

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图 3. 基于DOT结构的模式干涉分析

Fig. 3. Mode interference analysis based on DOT structure

图 4. DOT结构的电子显微图像及相应的透射光谱

Fig. 4. Microscope images of DOT structure and corresponding transmission spectrum

图 5. DOT结构与DDT结构对比分析

Fig. 5. Comparative analysis of DOT structure and DDT structure

图 6. 应变传感实验装置

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图 7. 优化双凹锥结构的应变响应

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图 8. 优化双凹锥结构的温度响应

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