红外与激光工程, 2018, 47 (12): 1243003, 网络出版: 2019-01-10
表面杂质和节瘤缺陷诱导薄膜元件热熔融损伤
Thermal melting damage of thin film components induced by surface impurities and nodule defects
基本信息
DOI: | 10.3788/irla201847.1243003 |
中图分类号: | O484 |
栏目: | 激光与物质相互作用 |
项目基金: | 科技部创新人才推进计划重点领域创新团队(2014RA4051)、 天津市薄膜光学重点实验室开放基金课题(KJWX170620) |
收稿日期: | 2018-07-02 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2019-01-10 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
余霞, 徐娇, 张彬. 表面杂质和节瘤缺陷诱导薄膜元件热熔融损伤[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(12): 1243003. Yu Xia, Xu Jiao, Zhang Bin. Thermal melting damage of thin film components induced by surface impurities and nodule defects[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(12): 1243003.