液晶与显示, 2017, 32 (5): 344, 网络出版: 2017-08-09   

绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响

Effect of insulating layer material and structure on performance of thin film transistors
作者单位
1 西安交通大学 电子物理与器件教育部重点实验室, 陕西 西安710049
2 西安交通大学 微电子学院, 陕西 西安710049
引用该论文

李欣予, 王若铮, 吴胜利, 李尊朝. 绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响[J]. 液晶与显示, 2017, 32(5): 344.

LI Xin-yu, WANG Ruo-zheng, WU Sheng-li, LI Zun-chao. Effect of insulating layer material and structure on performance of thin film transistors[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2017, 32(5): 344.

参考文献

[1] KAGAN C R, ANDRY P. Thin-Film Transistors[M]. The United Kingdom: CRC Press, 2003: 1.

[2] 翁寿松.高K绝缘层研究动态[J].微纳电子技术, 2005, 42(5): 220-223, 248.

    WENG S S. Recent researching trends in the high-K insulating layer[J]. Micronanoelectronic Technology, 2005, 42(5): 220-223, 248. (in Chinese)

[3] 魏勤香. HfO2高介电常数栅介质薄膜的制备及其电学性能的研究[D]. 武汉: 湖北大学, 2011.

    WEI Q X. The preparation and electrical properties of HfO2 high-K gate dielectric thin films[D]. Wuhan: Hubei University, 2011. (in Chinese)

[4] 韩德栋, 康晋锋, 杨红, 等.超薄HfO2高K栅介质薄膜的软击穿特性[J].固体电子学研究与进展, 2005, 25(2): 157-159.

    HAN D D, KANG J F, YANG H,et al. Soft breakdown characteristics of ultra-thin high-K HfO2 gate dielectrics[J]. Research & Progress of SSE, 2005, 25(2): 157-159. (in Chinese)

[5] GUO D Y, WU Z P, AN Y H, et al. Unipolar resistive switching behavior of amorphous gallium oxide thin films for nonvolatile memory applications[J]. Applied Physics Letters, 2015, 106(4): 042105.

[6] 唐龙谷.半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程[M].北京: 清华大学出版社, 2014: 5.

    TANG L G.Semiconductor Craft and Device Simulation Software Silvaco TCAD[M]. Beijing: Tsinghua University Press, 2014: 5. (in Chinese)

[7] 龚炽昌.不均匀介质相对介电常数和介质损耗角正切的计算[J].电工技术学报, 1987(2): 53-60, 44.

    GONG Z C. Calculation for relative dielectric constant and dielectric loss tangent of heterogeneous dielectric[J].Transactions of China Electrotechnical Society, 1987(2): 53-60, 44. (in Chinese)

[8] NEAMEN D A. Semiconductor Physics and Devices: Basic Principles[M]. The United States: The McGraw-Hill Companies, Inc. 2003: 317-318, 327-328, 346-347.

[9] 乔敏.基于TFT器件仿真的AMOLED像素电路研究[D].西安: 西安交通大学, 2014.

    QIAO M.The research of AMOLED pixel circuit based on TFT device simulation[D]. Xi’an: Xi’an Jiaotong University, 2014. (in Chinese)

李欣予, 王若铮, 吴胜利, 李尊朝. 绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响[J]. 液晶与显示, 2017, 32(5): 344. LI Xin-yu, WANG Ruo-zheng, WU Sheng-li, LI Zun-chao. Effect of insulating layer material and structure on performance of thin film transistors[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2017, 32(5): 344.

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