绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响 | 液晶与显示 -- 中国光学期刊网

液晶与显示, 2017, 32 (5): 344, 网络出版: 2017-08-09

绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响

Effect of insulating layer material and structure on performance of thin film transistors

李欣予 ^1,2,*王若铮 ^1,2吴胜利 ^1,2李尊朝 ^1,2

作者单位

¹ 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室, 陕西西安710049

² 西安交通大学微电子学院, 陕西西安710049

半导体器件仿真薄膜晶体管绝缘层氮化硅二氧化铪叠层结构 semiconductor device simulation thin film transistor insulation layer SiNx HfO2 overlapping structure

知识挖掘

相关论文

1. 晶态IGZO薄膜晶体管的研究进展

2023年

2. 分光比可设计的偏振无关光功分器研究

2023年

3. 溅射功率对钨掺杂ZnO薄膜晶体管性能的影响

2022年

4. SiN_x填充的定向耦合器型偏振无关解复用器

2022年

5. 基于MIS电容器的Al₂O₃与In_0.74Al_0.26As的界面特性

2022年

6. 氧氩比对Ta₂O₅栅介质薄膜晶体管电学性能的影响

2021年

7. IGZO型TFT图形设计优化

2021年

8. 真空干燥参数对TFT栅极光刻性能的影响

2021年

9. 氧化锌薄膜晶体管电性能的温度特性

2016年

10. 金属氧化物IGZO薄膜晶体管的最新研究进展

2010年

本文相似领域研究进展，

知识服务

本文主要研究领域论文发表情况：

薄膜晶体管

95篇

49篇

thin film transistor

38篇

19篇

7篇

5篇

5篇

insulation layer

3篇

半导体器件仿真

2篇

overlapping structure

1篇

semiconductor device simulation

1篇

1篇

本文研究领域论文发表情况（统计图）：

李欣予, 王若铮, 吴胜利, 李尊朝. 绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响[J]. 液晶与显示, 2017, 32(5): 344. LI Xin-yu, WANG Ruo-zheng, WU Sheng-li, LI Zun-chao. Effect of insulating layer material and structure on performance of thin film transistors[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2017, 32(5): 344.

论文摘要 Full Text 图 & 表补充材料基本信息知识挖掘 Metrics PDF全文参考文献 & 引文

本文已被 4 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网

引用该论文： TXT | EndNote

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务，点击此处了解我们的隐私策略。如您需继续使用本网站，请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。

您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!

快速查询高级查询

最近搜索：

大家在搜：人工智能图像处理光子

热门搜索：机器视觉光通信光纤传感器