激光与光电子学进展, 1989, 26 (8): 40, 网络出版: 2013-06-21
用激光促进化学蚀刻
摘要
捷克科技人员用激光促进n型砷化镓和磷化铟的电化学腐蚀。他们用He-Ne激光，功率密度为1~10 W/cm2,波长632.8 nm,在一种氧化溶液里完成化学蚀刻。他们还研究了蚀刻速率根据激光功率密度、曝光时间、蚀刻溶液的成份而变化的情况。
Abstract
参考文献
宋忠烈. 用激光促进化学蚀刻[J]. 激光与光电子学进展, 1989, 26(8): 40. 宋忠烈. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1989, 26(8): 40.
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