半导体光电, 2016, 37 (5): 688, 网络出版: 2016-11-18
基于金属背支撑刻蚀技术的柔性AlGaInP/AlGaAs/GaAs三结太阳电池研制
Study on Fabrication of AlGaInP/AlGaAs/GaAs Inverted Triple Junction Solar Cells Using Metal-Backed Etching Technique
基本信息
DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2016.05.019 |
中图分类号: | TN36 |
栏目: | 材料、结构及工艺 |
项目基金: | 国家自然科学基金项目(61176128,61404157,61534008)、 国家“863”计划项目(2013AA050403)、 苏州市应用基础基金项目(SYG201437). |
收稿日期: | 2016-01-26 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2016-11-18 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
卢建娅, 谭明, 杨文献, 陆书龙, 张玮, 黄健. 基于金属背支撑刻蚀技术的柔性AlGaInP/AlGaAs/GaAs三结太阳电池研制[J]. 半导体光电, 2016, 37(5): 688. LU Jianya, TAN Ming, YANG Wenxian, LU Shulong, ZHANG Wei, HUANG Jian. Study on Fabrication of AlGaInP/AlGaAs/GaAs Inverted Triple Junction Solar Cells Using Metal-Backed Etching Technique[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2016, 37(5): 688.