N<sub>2</sub>O为氧源金属有机化学气相沉积生长ZnO薄膜的光学性能研究

苏宏波; 戴江南; 王立; 蒲勇; 方文卿; 江风益

光学学报, 2006, 26 (7): 1112, 网络出版: 2006-08-28

N₂O为氧源金属有机化学气相沉积生长ZnO薄膜的光学性能研究

Optical Properties of ZnO Thin Film Grown by Atmospheric Pressure-Metal Organic Chemical Vapor Deposition Using N₂O as Oxygen Precursor

苏宏波 ^*戴江南王立蒲勇方文卿江风益

作者单位

南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心, 南昌 330047

图 & 表

苏宏波, 戴江南, 王立, 蒲勇, 方文卿, 江风益. N₂O为氧源金属有机化学气相沉积生长ZnO薄膜的光学性能研究[J]. 光学学报, 2006, 26(7): 1112. 苏宏波, 戴江南, 王立, 蒲勇, 方文卿, 江风益. Optical Properties of ZnO Thin Film Grown by Atmospheric Pressure-Metal Organic Chemical Vapor Deposition Using N₂O as Oxygen Precursor[J]. Acta Optica Sinica, 2006, 26(7): 1112.