紫外技术可能降低芯片成本 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2002, 39 (10): 58, 网络出版: 2006-08-08

紫外技术可能降低芯片成本

论文大纲

本刊编辑部

作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800

摘要

Abstract

参考文献

本刊编辑部. 紫外技术可能降低芯片成本[J]. 激光与光电子学进展, 2002, 39(10): 58. 本刊编辑部. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2002, 39(10): 58.

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