基于CO2激光加工的法布里-珀罗光学微腔阵列的制备下载： 937次 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2020, 57 (23): 231404, 网络出版: 2020-11-25

基于CO₂激光加工的法布里-珀罗光学微腔阵列的制备下载： 937次

Fabrication of Fabry-Pérot Optical Microcavity Array Based on CO₂ Laser Processing

贾卓楠 ^*张婷婷栗正华花双全王文杰

作者单位

太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,山西太原 030024

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