光电子技术, 2016, 36 (1): 5, 网络出版: 2016-12-07
零差激光干涉仪的大范围位移测量与精度分析
Large-range Displacement Measurement and Accuracy Analysis of Homodyne Laser Interferometer
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | O436;TN249 |
| 栏目: | 研究与试制 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(51405240, 61178044)、 江苏省自然科学基金(BK20140925)、 江苏省高校自然科学研究项目(14KJB510015)、 江苏省普通高校研究生科研创新计划(KYLX15_0727) |
| 收稿日期: | 2015-08-31 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2016-12-07 |
| 通讯作者: | 祝宏彬 (zhuhongbin99@163.com) |
| 备注: | -- |
祝宏彬, 陈俊雹, 郭冬梅, 张佳欢, 王鸣. 零差激光干涉仪的大范围位移测量与精度分析[J]. 光电子技术, 2016, 36(1): 5. ZHU Hongbin, CHEN Junbao, GUO Dongmei, ZHANG Jiahuan, WANG Ming. Large-range Displacement Measurement and Accuracy Analysis of Homodyne Laser Interferometer[J]. Optoelectronic Technology, 2016, 36(1): 5.
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