红外与激光工程, 2006, 35 (6): 777, 网络出版: 2007-05-23   

含氢非晶碳膜(a-C:H)红外光学特性的研究

Infrared optical properties of hydrogenated amorphous carbon films (a-C:H)
作者单位
1 西安电子科技大学理学院,陕西,西安,710071
2 西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032
摘要
采用端部霍尔离子源在硅基底上制备了含氢非晶碳膜(a-C:H),并测量了4 000~1 500 cm-1的红外透射光谱.基于单层薄膜的透射关系,获得了仅有六个拟合参数的光学常数计算模型.利用该模型,可以同时获得薄膜在宽波段范围内的光学常数和厚度:折射率的最大值为1.94,消光系数的最大值为0.014 9,拟合薄膜厚度为617 nm.
Abstract
参考文献

[1] ANGUS J C,BUCK F A,SUNKARA M,et al,Diamond growth at low pressures[J].Materials Research,Bulletin,1989,14 (10):38-47.

[2] ROBERTSON J.Properties of diamond-like carbon[J].Surf Cost Technol,1992,50:185-203.

[3] FOROUHI A R,BLOOMER I.Optical dispersion relations for amorphous semiconductors and amorphous dielectrics[J].Phys Rev B,1986,34:7018-7026.

[4] KIM S Y.Simutaneous determination of refractive index,extinction coefficient and void distribution of titanium dioxide thin film by optical methods[J].Appl Opt,1996,34:6703-6707.

[5] WANG Ming-jun,DONG Yan-bing,WU Zhen-sen,et al.Research on light scattering characteristics of rough surfaceand optical constants deduction[J].Infrared and Laser Engineering(王明军,董雁冰,吴振森,等.粗糙表面光散射特性研究与光学常数反演.红外与激光工程),2004,33(5):549-552.

[6] HONG J,GOULLET A,TURBAN G.Optical characterization of hydrogenated amorphous carbon thin films deposited from methane plasma[J].Thin Solid Films,2000,364(1):144-149.

[7] HATADA R,BABA K.Prepamtion of hydrophobic diamond like carbon films by plasma source ion implantation[J].Nuclear

潘永强, 吴振森. 含氢非晶碳膜(a-C:H)红外光学特性的研究[J]. 红外与激光工程, 2006, 35(6): 777. 潘永强, 吴振森. Infrared optical properties of hydrogenated amorphous carbon films (a-C:H)[J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(6): 777.

本文已被 1 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!