低相干光干涉高精度透镜中心厚度的测量方法

金超群; 杨宝喜; 胡小邦; 张方; 马健; 黄惠杰

doi:doi:10.3788/cjl201744.0604002

中国激光, 2017, 44 (6): 0604002, 网络出版: 2017-06-08

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Measurement Method of Lens Central Thickness with High Precision Based on Low Coherence Interferometry

金超群 ^1,2,*杨宝喜 ^1,2胡小邦 ¹张方 ¹马健 ^1,2黄惠杰 ¹

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800

² 中国科学院大学, 北京 100049

补充材料

金超群, 杨宝喜, 胡小邦, 张方, 马健, 黄惠杰. 低相干光干涉高精度透镜中心厚度的测量方法[J]. 中国激光, 2017, 44(6): 0604002. Jin Chaoqun, Yang Baoxi, Hu Xiaobang, Zhang Fang, Ma Jian, Huang Huijie. Measurement Method of Lens Central Thickness with High Precision Based on Low Coherence Interferometry[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(6): 0604002.