阐述了一种基于低相干光干涉技术的透镜中心厚度的测量方法, 并设计了腔式测量结构对未知折射率的材料进行中心厚度测量。测量系统为包括低相干测量和激光测距的全光纤结构。低相干测量结构参考臂和激光测距结构参考臂的共光路设计降低了环境因素的影响, 提高了测量稳定性, 并利用七步相移法实现对干涉信号的定位和提取。另外, 利用低相干测量方法中的平衡差分结构去除了干涉信号中的直流项, 同时提高了弱信号的定位精度。实验结果表明, 该腔式测量结构对殷瓦合金标准块的测量精度优于0.5 μm, 该系统能够实现对透镜中心厚度的高精度测量, 满足高精密光学系统的测量要求。

描述了利用低相干干涉技术实现光学镜面间距测量的方法。首先，采用微机电系统(MEMS)光开关多通道延迟结构实现测量范围的多倍增，然后通过共光路激光测距结构实现扫描反射镜的位移测量，再利用包络提取算法对低相干干涉信号的零光程差位置进行定位，最后实现镜面间距的高精度测量。实验测量系统为全光纤结构，利用该系统完成了对因瓦合金（Invar）标准块、大间距光学结构和光学镜组的镜面间距测量，在导轨扫描量程为300 mm的条件下，实现了在0.02~550 mm范围内的镜面间距测量，测量精度优于0.5 μm。该套系统可用于光刻机曝光系统、航测镜头、激光谐振腔等高性能精密光学系统的装调与检测。

光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术，其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上，以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块组成，推导了两个模块之间的光束传递矩阵，并基于LabView搭建了光电闭环控制实验系统。对系统性能进行了测试，通过人为引入已知光束漂移量得到如下结果：系统的指向稳态误差低于±3 μrad，位置稳态误差低于±0.04 mm，系统调整时间小于80 ms。结果表明该系统可以精确地把光束稳定在需要的指向和位置。

本文利用近红外(NIR)透射光谱分析技术结合连续投影算法(SPA)建立了黄酒中酒精度、酸度定量检测模型。为考察不同类黄酒对模型精度的影响，对比研究了干型、半干型黄酒样品的分类及混合偏最小二乘法(PLS)模型，确定了黄酒中酒精度和酸度的最佳建模方式。应用SPA 对样品近红外全波段(800~2 500 nm)进行优化，建立的SPA-PLS 模型效果优于全波段PLS 模型。干黄酒酒精度、半干黄酒酒精度和两类黄酒酸度SPA-PLS 模型的R 分别为0.983、0.993 和0.943，RMSECV 分别为0.174、0.189 和0.258。结果表明，分类建模显著提高了黄酒酒精度模型检测精度，混合建模能改善酸度模型精度；应用SPA 对模型优化，简化了模型且提高了模型精度及稳健性。研究结果为建立稳健的黄酒品质近红外检测应用模型提供了有效方法，对黄酒品质在线检测模型的研究具有参考价值。