光子学报, 2014, 43 (5): 0531002, 网络出版: 2014-06-03   

BaTiO3晶体薄膜PLD法生长工艺参量研究

Growth Process Parameters of BaTiO3 Crystal Thin Film in PLD Method
作者单位
1 长春理工大学, 长春 130022
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033
3 哈尔滨工业大学, 哈尔滨 150001
引用该论文

张静, 付秀华, 杨飞, 杨彬, 孙德贵. BaTiO3晶体薄膜PLD法生长工艺参量研究[J]. 光子学报, 2014, 43(5): 0531002.

ZHANG Jing, FU Xiu-hua, YANG Fei, YANG Bin, SUN De-gui. Growth Process Parameters of BaTiO3 Crystal Thin Film in PLD Method[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2014, 43(5): 0531002.

参考文献

[1] HUANG G, BERGER S. Combined effect of thickness and stress on ferroelectric behavior of thin BaTiO3 films[J]. Apply Physics, 2003, 93(5): 2855-2860.

[2] 钟迪生. 真空镀膜—光学材料的选择与应用[M]. 沈阳: 辽宁大学出版社, 2001: 235-241.

[3] 唐晋发, 顾培夫, 刘旭等. 现代光学薄膜技术[M]. 浙江: 浙江大学出版社, 2006: 114-118.

[4] LIN W, TSENG T. Growth and ferroelectricity of epitaxial-like BaTiO3 films on single-crystal MgO, SrTiO3 and silicon substrates synthesized by pulsed laser deposition[J] . Apply Physics, 2002, 77(12): 6466-6469.

[5] 魏贤华, 黄文, 接文静, 等. BaTiO3铁电薄膜在硅基片上的取向生长[J]. 硅酸盐学报, 2007, 35(5): 583-587.

    WEI Xian-hua, HUANG Wen, JIE Wen-jing, et al. Oriented growth of BaTiO3 ferroelectric thin film on Si substrate[J]. Journal of Silicate, 2007, 35(5): 583-587.

[6] 杨晓东, 张景文, 毕臻, 等. ZnO的激光分子束外延法制备及X射线研究[J]. 光子学报, 2008, 37(3): 485-489.

    YANG Xiao-dong, ZHANG Jing-wen, BI Zhen, et al. XRD analysis ZnO frown by laser molecular beam epitaxy[J]. Acta Photonica Sinica, 2008, 37(3): 485-489.

[7] 童杏林, 郑启光, 于本海, 等. 脉冲激光沉积GaN薄膜的结构和光学特性研究[J]. 光子学报, 2003, 32(12): 1506-1509.

    TONG Xing-lin, ZHENG Qi-guang, YU Ben-hai, et al. Optical and structural properties of GaN films grown on Si substrate by excimer pulsed laser deposition[J]. Acta Photonica Sinica, 2003, 32(12): 1506-1509.

[8] SUN D, LIU Z, HUANG Y, et al. Performance simulation for ferroelectric thin-film based waveguide electro-optic modulators[J]. Optical Communication, 2005, 255(7): 319-330.

[9] 童杏林, 姜德生, 刘恋, 等. 脉冲激光沉积PMN-PT薄膜极其性能研究[J]. 光子学报, 2008, 37(3): 494-497.

    TONG Xing-lin, JIANG De-sheng, LIU lian, et al. Characterization of PMN-PT thin film formed by femtosecond pulsed laser deposition[J]. Acta Photonica Sinica, 2008, 37(3): 494-497.

[10] 姜斌, 蒋书文, 李燕, 等. 激光分子束外延BaTiO3/SrTiO3超晶格的晶格应变研究[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(3): 196-199.

    JIANG Bin, JIANG Shu-wen, LI Yan, et al. Lattice strains in BaTiO3/SrTiO3 superlattice prepared with laser molecular epitaxy[J]. Journal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(3): 196-199.

[11] SHENG H, JIN K. Effect of oxygen vacancy on the dielectric relaxation of BaTiO3thin films in a quenched State[J]. Apply Physics, 2012, 111(6): 104-109.

[12] 左伟华, 王华, 任明放等. 退火温度对硅基铁电薄Bi4Ti3O12晶相结构的影响[J]. 信息记录材料, 2007, 8(1): 51-54.

    ZUO Wei-hua, WANG Hua, REN Ming-fang, et al. Effects of anneal temperature to Bi4Ti3O12 film on p-Si substrate[J]. Information Recording Materials, 2007, 8(1): 51-54.

[13] 接文静, 张鹰. 生长温度对单晶衬底上生长Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 薄膜微结构和介电性能的影响[J]. 硅酸盐学报, 2009, 37(8): 1424-1428.

    JEI Wen-jing, ZHANG Ying. Influence of growth temperature on the microstructure and dielectric properties of Ba(Zr0.2 Ti0.8)O3 thin film on single crystal oxide substrates[J]. Journal of Silicate, 2009, 37(8): 1424-1428.

[14] 苏雪琼, 王丽, 陈江博等. 不同衬底温度下PLD法制备的氧化锌薄膜的特性[J]. 光子学报, 2010, 39(24): 296-300.

    SU Xue-qiong, WANG Li, CHEN Jiang-bo, et al. Properties of ZnO thin films with effect of substrate temperature by PLD[J]. Acta Photonica Sinica, 2010, 39(24): 296-300.

[15] 邱旸, 熊杰, 陶伯万. MgO单晶基片上YBCO高温超导薄膜的制备[J]. 超导技术, 2007, 35(2): 110-113.

    QIU Yang, XIONG Jie, TAO Bo-wan. Preparation of YBCO high temperature superconductor films on MgO substrates[J]. Superconducting Technology, 2007, 35(2): 110-113.

张静, 付秀华, 杨飞, 杨彬, 孙德贵. BaTiO3晶体薄膜PLD法生长工艺参量研究[J]. 光子学报, 2014, 43(5): 0531002. ZHANG Jing, FU Xiu-hua, YANG Fei, YANG Bin, SUN De-gui. Growth Process Parameters of BaTiO3 Crystal Thin Film in PLD Method[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2014, 43(5): 0531002.

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