中国激光, 2015, 42 (1): 0103007, 网络出版: 2014-12-19
利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法制备高纵横比全硅槽的研究
Fabrication of High-Aspect-Ratio All-Silicon Grooves Using Femtosecond Laser Irradiation and Wet Etching
引用该论文
李艳娜, 陈涛, 潘安, 司金海, 侯洵. 利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法制备高纵横比全硅槽的研究[J]. 中国激光, 2015, 42(1): 0103007.
Li Yanna, Chen Tao, Pan An, Si Jinhai, Hou Xun. Fabrication of High-Aspect-Ratio All-Silicon Grooves Using Femtosecond Laser Irradiation and Wet Etching[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(1): 0103007.
李艳娜, 陈涛, 潘安, 司金海, 侯洵. 利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法制备高纵横比全硅槽的研究[J]. 中国激光, 2015, 42(1): 0103007. Li Yanna, Chen Tao, Pan An, Si Jinhai, Hou Xun. Fabrication of High-Aspect-Ratio All-Silicon Grooves Using Femtosecond Laser Irradiation and Wet Etching[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(1): 0103007.
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