中国激光, 2015, 42 (1): 0103007, 网络出版: 2014-12-19
利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法制备高纵横比全硅槽的研究
Fabrication of High-Aspect-Ratio All-Silicon Grooves Using Femtosecond Laser Irradiation and Wet Etching
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201542.0103007 |
| 中图分类号: | TN249 |
| 栏目: | 激光制造 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(11204236,61235003,61308006)、中国博士后科学基金(2013M542351) |
| 收稿日期: | 2014-06-17 |
| 修改稿日期: | 2014-08-02 |
| 网络出版日期: | 2014-12-19 |
| 通讯作者: | 李艳娜 (liyanna@stu.xjtu.edu.cn) |
| 备注: | -- |
李艳娜, 陈涛, 潘安, 司金海, 侯洵. 利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法制备高纵横比全硅槽的研究[J]. 中国激光, 2015, 42(1): 0103007. Li Yanna, Chen Tao, Pan An, Si Jinhai, Hou Xun. Fabrication of High-Aspect-Ratio All-Silicon Grooves Using Femtosecond Laser Irradiation and Wet Etching[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(1): 0103007.
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