应用光学, 2014, 35 (3): 446, 网络出版: 2014-06-03
基于俯视SEM图像的矩形光栅占宽比检测方法
Measurement method for duty cycles of rectangular gratings based on top-down SEM images
基本信息
| DOI: | 10.5768/jao201435.0303003 |
| 中图分类号: | TN16;O221.3 |
| 栏目: | 光学计量与测试 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(10975139)；中国科学院知识创新工程重要方向项目（GY2011053005） |
| 收稿日期: | 2013-10-28 |
| 修改稿日期: | 2014-03-12 |
| 网络出版日期: | 2014-06-03 |
| 通讯作者: | 吴丽翔 (wulx@mail.ustc.edu.cn) |
| 备注: | -- |
吴丽翔, 刘颖, 饶欢乐, 邱克强, 付绍军. 基于俯视SEM图像的矩形光栅占宽比检测方法[J]. 应用光学, 2014, 35(3): 446. WU Li-xiang, LIU Ying, RAO Huan-le, QIU Ke-qiang, FU Shao-jun. Measurement method for duty cycles of rectangular gratings based on top-down SEM images[J]. Journal of Applied Optics, 2014, 35(3): 446.
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