基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术

杜聚有; 戴凤钊; 步扬; 王向朝

doi:doi:10.3788/cjl201744.1204006

中国激光, 2017, 44 (12): 1204006, 网络出版: 2017-12-11

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Alignment Technique Using Moire Fringes Based on Self-Coherence in Lithographic Tools

杜聚有 ^1,2戴凤钊 ^1,2步扬 ^1,2王向朝 ^1,2,*

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800

² 中国科学院大学, 北京 100049

引用该论文

杜聚有, 戴凤钊, 步扬, 王向朝. 基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术[J]. 中国激光, 2017, 44(12): 1204006.

Du Juyou, Dai Fengzhao, Bu Yang, Wang Xiangzhao. Alignment Technique Using Moire Fringes Based on Self-Coherence in Lithographic Tools[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(12): 1204006.

引用列表

1、光刻对准关键技术的发展与挑战光学学报, 2023, 43 (19): 1900001

2、光刻套刻误差测量技术激光与光电子学进展, 2022, 59 (9): 0922023

3、相位光栅非对称性对位置测量精度的影响光学学报, 2021, 41 (19): 1905001

4、增强型相位光栅衍射效率研究光学学报, 2021, 41 (12): 1205001

5、标记非对称变形导致的对准误差修正方法及其在套刻测量中的应用中国激光, 2019, 46 (7): 0704004

6、大型槽式太阳能反射镜面摄影测量方法激光与光电子学进展, 2018, 55 (5): 051204

杜聚有, 戴凤钊, 步扬, 王向朝. 基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术[J]. 中国激光, 2017, 44(12): 1204006. Du Juyou, Dai Fengzhao, Bu Yang, Wang Xiangzhao. Alignment Technique Using Moire Fringes Based on Self-Coherence in Lithographic Tools[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(12): 1204006.

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