基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术

杜聚有; 戴凤钊; 步扬; 王向朝

doi:doi:10.3788/cjl201744.1204006

中国激光, 2017, 44 (12): 1204006, 网络出版: 2017-12-11

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Alignment Technique Using Moire Fringes Based on Self-Coherence in Lithographic Tools

杜聚有 ^1,2戴凤钊 ^1,2步扬 ^1,2王向朝 ^1,2,*

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800

² 中国科学院大学, 北京 100049

补充材料

杜聚有, 戴凤钊, 步扬, 王向朝. 基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术[J]. 中国激光, 2017, 44(12): 1204006. Du Juyou, Dai Fengzhao, Bu Yang, Wang Xiangzhao. Alignment Technique Using Moire Fringes Based on Self-Coherence in Lithographic Tools[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(12): 1204006.