采用相位调制方法的光纤干涉仪

倪畅; 张鸣; 朱煜

doi:doi:10.3788/ope.20172504.0820

光学精密工程, 2017, 25 (4): 820, 网络出版: 2017-06-02

采用相位调制方法的光纤干涉仪

Fiber interferometer based on phase generated carrier method

倪畅 ^1,2,*张鸣 ^1,2朱煜 ^1,2

作者单位

¹ 清华大学摩擦学国家重点实验室, 北京 100084

² 清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室, 北京 100084

补充材料

倪畅, 张鸣, 朱煜. 采用相位调制方法的光纤干涉仪[J]. 光学精密工程, 2017, 25(4): 820. NI Chang, ZHANG Ming, ZHU Yu. Fiber interferometer based on phase generated carrier method[J]. Optics and Precision Engineering, 2017, 25(4): 820.