光学仪器, 2006, 28 (4): 83, 网络出版: 2008-08-12
基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理
Adaptive Kalman filter for monitor signal processing of optic thin film
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | O484.4 |
栏目: | 沉积技术与控制方法 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2006-06-30 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2008-08-12 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
赵汝进, 马孜, 姚远程, 何长涛. 基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理[J]. 光学仪器, 2006, 28(4): 83. 赵汝进, 马孜, 姚远程, 何长涛. Adaptive Kalman filter for monitor signal processing of optic thin film[J]. Optical Instruments, 2006, 28(4): 83.