激光与光电子学进展, 2017, 54 (6): 061202, 网络出版: 2017-06-08
白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法
Adaptive Planning Method of Spatial Scanning Range for White Light Interferometric Profiler
基本信息
| DOI: | 10.3788/lop54.061202 |
| 中图分类号: | TH741.1 |
| 栏目: | 仪器,测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金委员会与中国民用航空局联合资助项目(U1633101)、国家自然科学基金(51205397)、中央高校基本科研业务费中国民航大学专项资助项目(3122014H004) |
| 收稿日期: | 2016-12-30 |
| 修改稿日期: | 2017-02-11 |
| 网络出版日期: | 2017-06-08 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
马龙, 吕毅, 裴昕, 焦智超, 张鸿燕, 胡艳敏. 白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法[J]. 激光与光电子学进展, 2017, 54(6): 061202. Ma Long, Lü Yi, Pei Xin, Jiao Zhichao, Zhang Hongyan, Hu Yanmin. Adaptive Planning Method of Spatial Scanning Range for White Light Interferometric Profiler[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(6): 061202.
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