位测量轮廓术中相位-高度映射系统标定的研究现状

万安军; 林玉明; 赵勋杰

红外技术, 2018, 40 (7): 701, 网络出版: 2018-08-04

位测量轮廓术中相位-高度映射系统标定的研究现状

Research Status of Phase-Height Mapping System Calibration in Phase Measurement Profilometry

万安军 ¹林玉明 ²赵勋杰 ^1,*

作者单位

¹ 苏州大学物理与光电·能源学部，江苏苏州 215006

² 朝阳广播电视大学，辽宁朝阳 122000

补充材料

万安军, 林玉明, 赵勋杰. 位测量轮廓术中相位-高度映射系统标定的研究现状[J]. 红外技术, 2018, 40(7): 701. WAN Anjun, LIN Yuming, ZHAO Xunjie. Research Status of Phase-Height Mapping System Calibration in Phase Measurement Profilometry[J]. Infrared Technology, 2018, 40(7): 701.