基于准分子激光绝对波长校准的寻峰算法研究

袁靖超; 赵江山; 李慧; 刘广义

doi:doi:10.3788/CJL201845.0701003

中国激光, 2018, 45 (7): 0701003, 网络出版: 2018-09-11

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Research of Peak-Detection Algorithm Based on Absolute Wavelength Calibration of Excimer Laser

袁靖超 ^1,2,3赵江山 ^1,2,*李慧 ^1,2刘广义 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院光电研究院投影光学室, 北京 100094

² 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094

³ 中国科学院大学, 北京 100049

补充材料

袁靖超, 赵江山, 李慧, 刘广义. 基于准分子激光绝对波长校准的寻峰算法研究[J]. 中国激光, 2018, 45(7): 0701003. Jingchao Yuan, Jiangshan Zhao, Hui Li, Guangyi Liu. Research of Peak-Detection Algorithm Based on Absolute Wavelength Calibration of Excimer Laser[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(7): 0701003.