光学与光电技术, 2009, 7 (4): 79, 网络出版: 2009-12-30
应用多传感器技术测量微孔几何参量
Microhole Geometry Measurement Applying Multi-Sensor Technology
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TP216 |
栏目: | 光电测量 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2008-07-26 |
修改稿日期: | 2008-09-21 |
网络出版日期: | 2009-12-30 |
通讯作者: | 隋鑫 (skyskysky_ing@sina.com) |
备注: | -- |
隋鑫, 徐熙平, 孙健, 张雷. 应用多传感器技术测量微孔几何参量[J]. 光学与光电技术, 2009, 7(4): 79. SUI Xin, XU Xi-ping, SUN Jian, ZHANG Lei. Microhole Geometry Measurement Applying Multi-Sensor Technology[J]. OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY, 2009, 7(4): 79.