激光与光电子学进展, 2020, 57 (21): 212202, 网络出版: 2020-11-04   

用于波前补偿的三液体透镜阵列的设计分析 下载: 988次

Design and Analysis of Triple Liquid Lens Array for Wavefront Compensation
作者单位
南京邮电大学电子与光学工程学院微流控光学技术研究中心, 江苏 南京 210023
摘要
为了校正由活塞、倾斜和离焦而引起的波前误差,设计一种基于介电润湿效应的三液体透镜阵列。根据介电润湿的理论,构建介电润湿三液体透镜阵列模型,仿真模拟液体界面的面型随着电压的变化过程,并分析三液体透镜阵列对活塞误差、离焦误差和倾斜误差的波前补偿能力。仿真结果表明,三液体透镜阵列可以实现对不同类型波前误差的校正和补偿,峰谷值由补偿前的1.838λ减小到补偿后的0.285λ,方均根值由补偿前的0.424λ减小到补偿后的0.053λ,斯特列尔比由补偿前的0.161提高到补偿后的0.917。相关研究结果表明,三液体透镜阵列在无机械波前校正的领域中有着广阔的应用前景。
Abstract
In this study, we designed a triple liquid lens array based on the electrowetting-on-dielectric effect to correct the wavefront errors caused by the piston, tilt, and defocus. A electrowetting-on-dielectric triple liquid lens array model is constructed herein according to the electrowetting-on-dielectric theory. The simulation of the surface shape of the liquid interface changes with the voltage. The wavefront compensation capability of the triple liquid lens array on the piston, defocus, and tilt errors are analyzed. The simulation results showed that the three-liquid lens array can realize the correction and the compensation of different types of wavefront errors. The peak-to-valley value is reduced from 1.838λ before the compensation to 0.285λ after the compensation. The root mean square value is reduced from 0.424λ before compensation to 0.053λ after the compensation. The Strehl ratio is 0.161 before the compensation to 0.917 after the compensation. The related research results show that the triple liquid lens array has broad application prospects in the field without mechanical wavefront correction.

1 引言

自适应光学是20世纪70年代以来发展起来的一门新兴光学技术,该技术可以通过实时测量并加以补偿来解决天文成像过程中由大气湍流或其他因素造成的波前畸变问题。由于自适应光学技术在高分辨率观测和高集中度激光能量传输等方面发挥着重要的作用,因此国内外学者争相投入自适应光学技术的研究中。波前校正器件作为自适应光学系统中的关键器件之一,决定了自适应光学系统的性能和价格,从某种意义来说其代表了自适应光学技术的发展水平[1-3]

20世纪90年代以前,波前校正器件主要为可变形镜,但因其存在能耗高、体积大和驱动单元少等问题,使应用范围受到了极大的限制[4-5]。自20世纪90年代开始,液晶空间光调制器[6-8]因其具有驱动单元数目多、驱动电压低、控制灵活和价格低廉等优点,逐渐受到了国内外科学工作者的关注。1997年,Love[9]在自适应光学系统中使用了液晶空间调制器作为波前校正器件,实现了波前校正和波前模拟。2006年,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所刘永军等[10]研制了新型平行排列的二维阵列液晶相位调制器,并对其进行了畸变波前调制的实验。由于受到材料特性的限制,液晶空间光调制器的响应速度慢,校正频率大约在几十赫兹,当将其应用到基地大口径望远镜上并校正大气湍流时,则需要具备几千赫兹的校正频率。此外,液晶空间光调制器具有色散特性和对偏振光敏感的缺点,极大地限制了其在自适应光学系统中的应用[11]

因基于介电润湿效应的液体空间光学调制器具有优良的自适应性、体积小、响应时间短和无机械可动部件等优点[12-13],使得国内外学者尝试将其应用在自适应光学系统中。2012年,Gopinath等[14-15]设计了一种基于介电润湿效应的液体透镜/棱镜阵列,实现了波长为5λ波前误差的有效补偿,但该系统只能实时补偿曲率误差、倾斜误差或活塞误差这三种误差中的一种。2017年,Ousati Ashtiani等[16]提出了一种基于介电润湿驱动的可调谐光学移相器,实现了相移为171°的相位调制。2019年,Wang等[17]研制了一种基于介电润湿效应的光路可变调制器,该器件可以用来补偿成像系统的后焦距,实现了1.15 mm的光程变化。

本文设计一种介电润湿三液体透镜阵列,充分利用三液体透镜[18]具有双层液体分界面且每层液面可独立控制的优势,实现对多种不同类型波前误差的实时校正和补偿。首先仿真模拟三液体透镜中两个液体界面的面型,从而获得液体界面面型与工作电压的关系。然后根据系统引入的波前畸变(活塞误差、曲率误差和倾斜误差),并通过控制工作电压来改变液体界面的面型,从而实现对活塞误差、曲率误差和倾斜误差的补偿和校正。最后对系统输出的波前分布和点扩展函数(PSF)分布进行分析与讨论。相关研究结果表明,设计的三液体透镜阵列有利于推动波前校正器件的应用和发展,也为三液体光学透镜阵列的实用化提供参考和依据。

2 结构设计与工作原理

设计的三液体透镜阵列由多个基于介电润湿效应的三液体透镜子单元组成,而三液体透镜子单元呈蜂窝状排布,如图1(a)所示,其中M为三液体透镜阵列的层数,每一层的透镜数量为6M。每个三液体透镜子单元的直径均为2 mm,高度均为3 mm。腔体内壁上依次涂覆导电层、介电层和疏水层。为了实现上、下两层液体界面的独立控制,圆柱形腔体的中间部分均未涂覆导电层。填充液体liquid 1、liquid 2和liquid 3分别为KCL/SDS溶液、正十二烷(CH3(CH2)10CH3)和[EMIm][NTf2]离子液体[19],n1n2n3分别为各层液体的折射率。KCL/SDS溶液为质量分数为0.01%的KCL和质量分数为1%的SDS的混合溶液。正十二烷是与导电液体不混溶的非导电液体。[EMIm][NTf2]离子液体与正十二烷的折射率差值很小,说明其可以有效避免由液体界面S2的曲率变化引起的误差。KCL/SDS溶液与正十二烷的折射率差值较大,说明其可以产生足够的偏折角度来补偿倾斜误差。圆柱腔体上、下两部分的内部均由1/4圆弧状电极组成,彼此之间互相绝缘且不导电,液体界面S1可以通过组合的工作电压(V1~V4)来控制。S2可以通过工作电压V5来控制,如图1(b)所示。基于介电润湿效应的液体透镜和棱镜的结构和工作原理[20-22],本课题组在前期已详细介绍,这里不再赘述。

图 1. 三液体透镜阵列的结构示意图。(a)阵列分布; (b)子单元结构

Fig. 1. Schematic of structure of triple liquid lens array. (a) Array distribution; (b) subunit structure

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图2为介电润湿三液体透镜阵列补偿畸变波前的工作过程。首先调整会聚透镜与成像面之间的距离来实现对曲率误差的校正,接着对三液体透镜阵列中的透镜子单元进行独立控制,可以实现对倾斜误差和活塞误差的补偿和校正。图2(a)中每一条光线都是具有相同传播方向和相位的平面波,在像平面上,平面波相干叠加后形成PSF。图2(b)为三液体透镜子单元通过构造不同界面的面型来校正倾斜误差和活塞误差的原理。当对三液体透镜单元施加工作电压时,分别独立控制两个液体分界面的面型,使其形成具有不同倾斜角的平界面S1和不同曲率的弯曲界面S2。首先控制工作电压,使得S1界面为平界面,然后改变平界面S1的倾斜角度,校正系统会因倾斜误差而导致光线偏折,表达式为

n1sinα=n2sinβ,(1)α=θ+γi,(2)β=θ+γo,(3)

式中:θ为平界面S1y轴的夹角;αβ分别为入射角和出射角;γiγo分别为入射光线和出射光线与z轴的夹角;n1n2为界面S1S2的折射率。当γi=0时,平行光线入射无倾斜误差;当γi≠0时,非平行光线入射存在倾斜误差。通过介电润湿效应可以实现对θ的调整,使得夹角γi=0。当γi=0时,说明由倾斜误差导致的光线偏折已被校正。

图 2. 三液体透镜阵列波前畸变的补偿结构示意图。(a) 系统示意图; (b) 子单元校正原理

Fig. 2. Schematic of compensation structure for wavefront distortion of triple liquid lens array. (a) System diagram; (b) principle of sub-unit correction

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当界面S2的曲率发生变化时,液体厚度l1l2也随之改变,其中l1l2是折射率分别为n2n3的液体厚度。根据光程定义,得到光程OOP=n2l1+n3l2。当界面S2的顶点高度变化量为Δ时,相应的光程变化量可表示为

OOPD=[n3(l2-Δ)+n2(l1+Δ)]-(n3l2-n2l1)=(n2-n3)Δ(4)

因为透镜内部的液体体积恒定,所以可以控制界面S2的曲率来改变l1l2。当光束在通过透镜时,光程发生改变,从而产生不同的相位延迟来补偿活塞误差。

3 仿真建模与分析讨论

通过COMSOL仿真软件来构建基于介电润湿效应的三液体透镜模型,再现液体界面的面型随着工作电压的变化情况,分析不同的电压组合的上、下两层液体的界面形状,如图3所示,具体参数如表1表2所示。

图3可以看到,当施加特定的电压组合时,三液体透镜中两个界面分别为不同曲率的弯曲界面和不同倾斜角的平界面。当V1=V2=V3=V4=63.0 V和V5=25.5 V时,S1S2均为与水平方向夹角为零的平界面,此时液体透镜单元对于系统引入的波前误差将不起到任何的补偿作用,如图3(a)所示。当V1=57.0 V、V2=V4=63.0 V、V3=68.0 V和V5=18.0 V时,S1S2分别为倾斜平界面和弯曲界面,如图3(b)所示。当V1=68.0 V、V2=V4=63.0 V、V3=57.0 V和V5=32.0 V,S1S2分别形成与图3(b)对称互补的倾斜平界面和弯曲界面,如图3(c)所示。根据上述介绍可知,通过调整工作电压组合,可以改变界面S1的倾斜角度θ和界面S2的曲率,从而实现对倾斜误差和活塞误差的有效补偿。

表 2. 液体参数的设置

Table 2. Liquid parameters setting

LiquidDensity/(kg·m-3)Refractive dynamic indexDynamic viscosity/[10-3 Pa·s]
[EMIM][NTf2]13801.422732.00
KCL/SDS10001.33002.70
Dodecane7531.42061.36

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表 3. 系统的结构参量

Table 3. Structural parameters of system

SurfaceTypeRadiusThicknessGlassSemi-diameter
OBJStandardInfinityInfinity0
1Zernike standard phaseInfinity05
STOStandardInfinity2.0005
3Non-sequential componentInfinity-5
4StandardInfinity05
5Standard-3.291×10112.000BK75
6Standard-7.75215.0175
IMAStandardInfinity-1

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表 1. 参数的设置

Table 1. Parameters setting

ParameterValueRemark
θ1/(°)134Zero voltage contact angle([EMIm][NTf2] & CH3(CH2)10CH3)
θ2/(°)140Zero voltage contact angle(KCL/SDS & CH3(CH2)10CH3)
γ1/(N·m-1)0.011Surface tension([EMIm][NTf2] & CH3(CH2)10CH3)
γ2/(N·m-1)0.069Surface tension(KCL/SDS & CH3(CH2)10CH3)
ε2.650Relative dielectric constant
l1Dielectric thickness

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根据上述面型数据,在ZEMAX光学仿真软件中构建三液体透镜阵列,并对其波前补偿特性进行分析。光学系统的波长为0.587 μm,通光孔径为10 mm。表3为光学系统的结构参量,其中radius为曲率半径,thickness为各透镜间的间隔,glass为玻璃材料,semi-diameter为透镜的半口径,OBJ为物平面,STO为光阑面,IMA为像平面。

图 3. 不同情况下三液体透镜单元界面的面型。(a) V1=V2=V3=V4=63.0 V和V5=25.5 V; (b) V1=57.0 V、V2=V4=63.0 V、V3=68.0 V和V5=18.0 V; (c) V1=68.0 V、V2=V4=63.0 V、V3=57.0 V和V5=32.0 V

Fig. 3. Surface shapes of triple liquid lens element interface under different conditions. (a) V1=V2=V3=V4=63.0 V and V5=25.5 V; (b) V1=57.0 V, V2=V4=63.0 V, V3=68.0 V and V5=18.0 V; (c) V1=68.0 V, V2=V4=63.0 V, V3=57.0 V and V5=32.0 V

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图4为经过三液体透镜阵列补偿前后的波前分布。从图4(a)可以看到,未经过补偿的波前有明显倾斜,波前畸变误差主要是由倾斜误差引起的,此处对应的峰谷(PV)值为1.838λ,方均根(RMS)为0.424λ;经过三液体透镜阵列补偿后,波前的PV则有效降低到0.285λ,RMS也相应地减小到0.053λ。从图4(b)可以看到,三液体透镜阵列可以实现对系统倾斜误差的有效补偿。

图 4. 经过三液体透镜阵列补偿前后的波前分布。(a)补偿前;(b)补偿后

Fig. 4. Wavefront distribution before and after compensation by triple liquid lens array. (a) Before compensation; (b) after compensation

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图5为补偿前后系统像面PSF的分布情况。从图5可以看到,补偿前存在倾斜误差和离焦误差,这会导致系统能量分散,PSF峰值低,输出的斯特列尔比仅为0.161;经过三液体透镜阵列补偿后,系统输出的PSF峰值明显提高,相应的斯特列尔比也提高到0.917。

图 5. PSF分布图。(a)补偿前;(b)补偿后

Fig. 5. Distribution of PSF. (a) Before compensation; (b) after compensation

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4 结论

设计一种基于介电润湿效应的三液体透镜阵列,并应用该阵列来补偿由活塞、倾斜和离焦引起的波前误差。构建三液体透镜子单元物理模型,模拟不同组合电压下三液体透镜界面的面型变化,并分析三液体透镜阵列的波前补偿特性。仿真结果表明,基于介电润湿效应的三液体透镜阵列可以有效补偿波前畸变误差。经过三液体透镜阵列补偿后,波前PV值由1.838λ减小到0.285λ,RMS值相应地从0.424λ减小到0.053λ,而斯特列尔比则由0.161提高到0.917。

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