Determination of the deposition rate of DC magnetron sputtering in fabrication of X-ray supermirrors Download： 545次 | Chinese Optics Letters -- 中国光学期刊网

Chinese Optics Letters, 2006, 4 (9): 550, Published Online: Sep. 14, 2006

Determination of the deposition rate of DC magnetron sputtering in fabrication of X-ray supermirrors Download： 545次

Fengli Wang ^*Zhanshan Wang Jingtao Zhu Zhong Zhang Wenjuan Wu Shumin Zhang Lingyan Chen

Author Affiliations

Institute of Precision Optical Engineering, Department of Physics, Tongji University, Shanghai 200092

220.0220 Optical design and fabrication 230.0230 Optical devices 310.0310 Thin films 340.0340 X-ray optics

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