激光与光电子学进展, 1989, 26 (8): 43, 网络出版: 2013-06-21
日本着手研制X射线激光器
摘要
日本通产省工业技术院近期将着手研制第二代超大规摸集成电路制造不可缺少的X射线激光器。这种激光系统使甩电子技术综合研究所核聚变研究用的大功率准分子激光器，将准分子紫外激光照射纤维状的各种物质等离子体化后，取出它辐射的X射线。
Abstract
参考文献
思源. 日本着手研制X射线激光器[J]. 激光与光电子学进展, 1989, 26(8): 43. 思源. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1989, 26(8): 43.
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