硅片绒面形貌影响光线反射的数值研究

邱明波; 黄因慧; 刘志东; 田宗军; 汪炜

光学学报, 2008, 28 (12): 2394, 网络出版: 2008-12-17

硅片绒面形貌影响光线反射的数值研究

Numerical Study on Effect of Silicon Texture Structure on Reflectance of Light

邱明波 ^1,2,*黄因慧 ¹刘志东 ^1,2田宗军 ²汪炜 ²

作者单位

¹ 南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室, 江苏南京 210016

² 南京航空航天大学机电学院, 江苏南京 210016

补充材料

邱明波, 黄因慧, 刘志东, 田宗军, 汪炜. 硅片绒面形貌影响光线反射的数值研究[J]. 光学学报, 2008, 28(12): 2394. Qiu Mingbo, Huang Yinhui, Liu Zhidong, Tian Zongjun, Wang Wei. Numerical Study on Effect of Silicon Texture Structure on Reflectance of Light[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(12): 2394.