高反射率193nm反射膜的实现

尚淑珍; 赵祖欣; 邵建达; 范正修

应用激光, 2008, 28 (1): 19, 网络出版: 2008-08-17

高反射率193nm反射膜的实现

The Achieving of High-reflectance 193nm HR Coatings

尚淑珍 ¹赵祖欣 ¹邵建达 ²范正修 ²

作者单位

¹ 华东理工大学机械与动力工程学院承压系统安全科学教育部重点实验室,上海200237

² 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800

基本信息

DOI:	--
中图分类号:	O484.4
栏目:
项目基金:	上海市重点学科建设资助(项目编号:B503)
收稿日期:	2008-01-09
修改稿日期:	--
网络出版日期:	2008-08-17
通讯作者:
备注:	--

尚淑珍, 赵祖欣, 邵建达, 范正修. 高反射率193nm反射膜的实现[J]. 应用激光, 2008, 28(1): 19. 尚淑珍, 赵祖欣, 邵建达, 范正修. The Achieving of High-reflectance 193nm HR Coatings[J]. APPLIED LASER, 2008, 28(1): 19.