光学 精密工程, 2018, 26 (2): 380, 网络出版: 2018-03-21
基于压电悬臂梁的驱动器与传感器性能分析的精确解析模型
An accurate analytical expression for predicting the performance of piezoelectric cantilever based actuators and sensors
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20182602.0380 |
中图分类号: | TP394.1;TH691.9 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.11372063,No.11572073,No.11332004);高等学校学科创新引智计划资助项目(No.B14013) |
收稿日期: | 2017-05-10 |
修改稿日期: | 2017-07-07 |
网络出版日期: | 2018-03-21 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
刘骥, 刘书田, 高仁璟, 仝立勇. 基于压电悬臂梁的驱动器与传感器性能分析的精确解析模型[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(2): 380. LIU Ji, LIU Shu-tian, GAO Ren-jing, TONG Li-yong. An accurate analytical expression for predicting the performance of piezoelectric cantilever based actuators and sensors[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(2): 380.