红外与毫米波学报, 2010, 29 (6): 401, 网络出版: 2010-12-13   

AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

OPTIMUM GUARD-RING FOR PLANAR InP/InGaAs PHOTODIODE: CHARACTERIZED WITH AFM, SCM and LBIC
李永富 1,2,3唐恒敬 1,2,3朱耀明 1,2,3李淘 1,2,3殷豪 4李天信 4李雪 1,2龚海梅 1,5,*
作者单位
1 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术国家重点实验室, 上海200083
2 中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室, 上海200083
3 中国科学院研究生院, 北京100039
4 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室, 上海200083
5 中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室, 上海200083:
基本信息
DOI: --
中图分类号: TN2
栏目: Image Processing and Software Simulation
项目基金: Supported by Key Program of National Science Foundation of China(50632060)
收稿日期: 2010-03-16
修改稿日期: 2010-06-14
网络出版日期: 2010-12-13
通讯作者: 龚海梅 (hmgong@mail.sitp.ac.cn.)
备注: --

李永富, 唐恒敬, 朱耀明, 李淘, 殷豪, 李天信, 李雪, 龚海梅. AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用[J]. 红外与毫米波学报, 2010, 29(6): 401. LI Yong-Fu, TANG Heng-Jing, ZHU Yao-Ming, LI Tao, YIN Hao, LI Tian-Xin, LI Xue, GONG Hai-Mei. OPTIMUM GUARD-RING FOR PLANAR InP/InGaAs PHOTODIODE: CHARACTERIZED WITH AFM, SCM and LBIC[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2010, 29(6): 401.

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