AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用 | 红外与毫米波学报 -- 中国光学期刊网

红外与毫米波学报, 2010, 29 (6): 401, 网络出版: 2010-12-13

AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

OPTIMUM GUARD-RING FOR PLANAR InP/InGaAs PHOTODIODE: CHARACTERIZED WITH AFM, SCM and LBIC

李永富 ^1,2,3唐恒敬 ^1,2,3朱耀明 ^1,2,3李淘 ^1,2,3殷豪 ⁴李天信 ⁴李雪 ^1,2龚海梅 ^1,5,*

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室, 上海200083

² 中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室, 上海200083

³ 中国科学院研究生院, 北京100039

⁴ 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室, 上海200083

⁵ 中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室, 上海200083:

图 & 表

李永富, 唐恒敬, 朱耀明, 李淘, 殷豪, 李天信, 李雪, 龚海梅. AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用[J]. 红外与毫米波学报, 2010, 29(6): 401. LI Yong-Fu, TANG Heng-Jing, ZHU Yao-Ming, LI Tao, YIN Hao, LI Tian-Xin, LI Xue, GONG Hai-Mei. OPTIMUM GUARD-RING FOR PLANAR InP/InGaAs PHOTODIODE: CHARACTERIZED WITH AFM, SCM and LBIC[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2010, 29(6): 401.

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