红外与激光工程, 2021, 50 (1): 20211008, 网络出版: 2021-03-24 复制并引用该论文  被引通知

图 & 表

图 1. Schematic diagram of arrangement mode of grating array光栅阵列排布模式示意图

Fig. 1.

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图 2. Schematic diagram of silicon base multilayer metal-dielectric sub-wavelength grating structure硅基多层金属-介质亚波长光栅结构示意图

Fig. 2.

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图 3. Fabrication process of silicon base multilayer metal-dielectric sub-wavelength polarization grating硅基多层金属-介质亚波长偏振光栅制备流程

Fig. 3.

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图 4. Grating array after etching刻蚀完成后的光栅阵列

Fig. 4.

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图 5. Single-chip integration diagram of infrared focal plane polarization detector红外焦平面偏振探测器单片集成示意图

Fig. 5.

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图 6. Schematic diagram of device after bonding integration粘接集成后器件的结构示意图

Fig. 6.

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图 7. Schematic diagram of device after integration by indium bump flip chip铟柱倒装互连集成后器件的结构示意图

Fig. 7.

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图 8. Pixel signal response diagram of 256×256 medium wave detector256×256中波探测器组件像元信号响应图

Fig. 8.

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图 9. Signal of medium wave polarization infrared detector changes with polarization angle偏振中波红外探测器组件信号随偏振角度变化

Fig. 9.

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表 1

Design parameters of grating structure

光栅结构设计参数

Table1.

Parameter Value Grating width, a/nm 150 Grating interval, b/nm 150 Grating period, T/nm 300 Dielectric thickness, h0/nm 270 Depth of grating groove, h1-h3/nm Au: 100 Pd: 50 Ti: 10 Duty ratio of grating, f 0.5

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杨超伟, 封远庆, 李东升, 李宁, 赵永强, 舒畅, 辛永刚, 李永亮, 左大凡, 唐遥. 中波碲镉汞红外偏振焦平面探测器的制备研究（特邀）[J]. 红外与激光工程, 2021, 50(1): 20211008. Chaowei Yang, Yuanqing Feng, Dongsheng Li, Ning Li, Yongqiang Zhao, Chang Shu, Yonggang Xin, Yongliang Li, Dafan Zuo, Yao Tan. Preparation of medium wave mercury cadmium telluride infrared polarization focal plane detector (Invited)[J]. Infrared and Laser Engineering, 2021, 50(1): 20211008.