强激光与粒子束, 2015, 27 (2): 024133, 网络出版: 2015-02-15  

热处理对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响

Effect of post-annealing on the structure and piezoelectric properties of ZnO/Au films
作者单位
中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621999
基本信息
DOI: 10.11884/hplpb201527.024133
中图分类号: TN124
栏目:
项目基金: supported by National Natural Science Foundation of China (61101038)
收稿日期: 2014-09-19
修改稿日期: 2014-11-02
网络出版日期: 2015-02-15
通讯作者: 杨杰 (yjie656@gmail.com)
备注: --

杨杰, 陈光焱, 王旭光, 沈朝阳, 姚明秋. 热处理对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27(2): 024133. Yang Jie, Chen Guangyan, Wang Xuguang, Shen Zhaoyang, Yao Mingqiu. Effect of post-annealing on the structure and piezoelectric properties of ZnO/Au films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27(2): 024133.

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