激光与光电子学进展, 1980, 17 (12): 40, 网络出版: 2013-08-13
激光增强电镀和无掩模图形制作
摘要
无掩模电镀已经通过一种新技术途径实现了,这种新技术使用连续波或脉冲激光器,让激光聚焦在电镀槽中的某个电极上。在光功率密度约为104瓦/厘米2时,阴极上吸光区域里电镀增强速皮约达103倍。激光扫描沿扫描轨迹产生一个电镀图形。一种基于对流质量传递的定性理论被用来解释这些结果。
Abstract
王明胜. 激光增强电镀和无掩模图形制作[J]. 激光与光电子学进展, 1980, 17(12): 40. 王明胜. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1980, 17(12): 40.