环境气氛及气压对增透膜真空激光损伤的影响

凌秀兰; 李大伟; 赵元安; 李淑红; 邵建达; 范正修

doi:doi:10.3788/cjl20093611.3055

中国激光, 2009, 36 (11): 3055, 网络出版: 2009-11-11

环境气氛及气压对增透膜真空激光损伤的影响

Effects of Environments and Gas Pressures on Laser-Induced Damage of Anti-Reflection Films

凌秀兰 ^1,2,3,*李大伟 ¹赵元安 ¹李淑红 ^1,2邵建达 ¹范正修 ¹

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心,上海 201800

² 中国科学院研究生院,北京 100039

³ 中北大学信息与通信工程学院,山西太原 030051

图 & 表

凌秀兰, 李大伟, 赵元安, 李淑红, 邵建达, 范正修. 环境气氛及气压对增透膜真空激光损伤的影响[J]. 中国激光, 2009, 36(11): 3055. Ling Xiulan, Li Dawei, Zhao Yuan′an, Li Shuhong, Shao Jianda, Fan Zhengxiu. Effects of Environments and Gas Pressures on Laser-Induced Damage of Anti-Reflection Films[J]. Chinese Journal of Lasers, 2009, 36(11): 3055.