动压气浮马达轴承间隙测量设备

任同群; 秦波; 刘指柔; 徐向东; 王晓东

doi:doi:10.3788/ope.20182611.2714

光学精密工程, 2018, 26 (11): 2714, 网络出版: 2019-01-10

动压气浮马达轴承间隙测量设备

Clearance measurement equipment for air bearing of dynamic pressure gyro motor

任同群 ^1,2,*秦波 ²刘指柔 ²徐向东 ²王晓东 ^1,2

作者单位

¹ 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室, 辽宁大连 116024

² 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室, 辽宁大连 116024

补充材料

任同群, 秦波, 刘指柔, 徐向东, 王晓东. 动压气浮马达轴承间隙测量设备[J]. 光学精密工程, 2018, 26(11): 2714. REN Tong-qun, QIN Bo, LIU Zhi-rou, XU Xiang-dong, WANG Xiao-dong. Clearance measurement equipment for air bearing of dynamic pressure gyro motor[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(11): 2714.