光学学报, 2010, 30 (9): 2568, 网络出版: 2014-05-15   

超高斯相位型光瞳滤波器轴向超分辨性能

Axial SuperResolution Effects of SuperGaussian Phase Filters
作者单位
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 四川 成都 610209
摘要
研究了超高斯相位型光瞳滤波器的轴向超分辨性能。通过数值模拟,使用新的参数T,w讨论确定了三区二元相位型光瞳滤波器的超分辨区域。将超高斯相位型与二元相位型滤波器对比,分析相同参数下两种光瞳滤波器的轴向超分辨能力,进而讨论超高斯相位型滤波器的轴向超分辨性能随其阶数的变化关系。超高斯型滤波器与相位型相比,超分辨能力略有降低,但其旁瓣能量也有所降低,因此能量利用率有所提高。
Abstract
Axial superresolution effects of superGaussian phase filters are studied in detail. New parameters (T, W) are used to determine the superresolution region of three zones annular binary phase filter through numerical simulations. Axial superresolution effect difference between superGaussian phase filter and annular binary phase filter is discussed on condition of the same parameters. The axial superresolution response of superGaussian phase filters with it′s index is also studied. Compared to annular binary phase filters, the superresolution of superGaussian phase filters has a slight decline. Whereas it′s sidelobes also has a little decrease, energy utilization rate increases.

何毅, 张雨东, 李国俊, 王炯, 罗先刚. 超高斯相位型光瞳滤波器轴向超分辨性能[J]. 光学学报, 2010, 30(9): 2568. He Yi, Zhang Yudong, Li Guojun, Wang Jiong, Luo Xiangang. Axial SuperResolution Effects of SuperGaussian Phase Filters[J]. Acta Optica Sinica, 2010, 30(9): 2568.

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