激光与光电子学进展, 1971, 8 (8): 44, 网络出版: 2013-08-28
用红宝石激光加速集成电路光掩模的沉积
摘要
据美帝国际商业机械公司的莫罗(W. Moreau)说,用红宝石激光器几乎可以立即完成沉积集成电路光掩模的冗长的过程。
Abstract
参考文献
N/A. 用红宝石激光加速集成电路光掩模的沉积[J]. 激光与光电子学进展, 1971, 8(8): 44. N/A. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1971, 8(8): 44.