纳秒激光加工石英微通道的实验与理论研究

李世雄; 白忠臣; 秦水介

doi:doi:10.3788/lop49.041401

激光与光电子学进展, 2012, 49 (4): 041401, 网络出版: 2012-02-15

纳秒激光加工石英微通道的实验与理论研究

Research on the Fabrication of Micro Channels in Fused Silica Substrates by Nanosecond Laser

李世雄 ^*白忠臣秦水介

作者单位

贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室, 贵州贵阳 550025

图 & 表

李世雄, 白忠臣, 秦水介. 纳秒激光加工石英微通道的实验与理论研究[J]. 激光与光电子学进展, 2012, 49(4): 041401. Li Shixiong, Bai Zhongchen, Qin Shuijie. Research on the Fabrication of Micro Channels in Fused Silica Substrates by Nanosecond Laser[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2012, 49(4): 041401.