激光与光电子学进展, 1989, 26 (10): 42, 网络出版: 2013-06-21
分辨率1 nm以下的线宽测定装置
摘要
能以低于1 nm分辨率测定超大规模集成电路微图案线宽和间隔的线宽测定装置，将在本年度内由日本工业技术院计量研究所完成。该所研制成此装置的心脏部件——超高分辨率激光干涉仪。装置的最大特征是，即使温度变化使装置膨胀或收缩，也能进行稳定测量。在空气中进行的预备实验中，以0.8 nm的分辨率精密测定了大规模集成电路的线宽和间隔。
Abstract
参考文献
思源. 分辨率1 nm以下的线宽测定装置[J]. 激光与光电子学进展, 1989, 26(10): 42. 思源. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1989, 26(10): 42.
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