采用正弦微窗光栅的位移传感器

王春海; 张国雄; 郭尚旗; 马新辉

光学学报, 1999, 19 (9): 1153, 网络出版: 2006-08-09

采用正弦微窗光栅的位移传感器

A Displacement Encoder Using Sine Micro-Window Grating

王春海张国雄郭尚旗马新辉

作者单位

天津大学精密仪器工程系, 天津 300072

补充材料

王春海, 张国雄, 郭尚旗, 马新辉. 采用正弦微窗光栅的位移传感器[J]. 光学学报, 1999, 19(9): 1153. 王春海, 张国雄, 郭尚旗, 马新辉. A Displacement Encoder Using Sine Micro-Window Grating[J]. Acta Optica Sinica, 1999, 19(9): 1153.