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同名作者【马新辉】论文列表

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光学器件

采用正弦微窗光栅的位移传感器

王春海张国雄郭尚旗马新辉

作者单位

摘要

天津大学精密仪器工程系, 天津 300072

研制了一种新型的光栅位移传感器, 它采用了一种被作者称为正弦微窗光栅的新元件作为指示光栅, 用于消除光栅信号中的高次谐波。所谓正弦微窗光栅是一种由许多微小的正弦窗孔排列组成的光栅。介绍了采用光学图形发生器和刻蚀镀膜工艺制造这种光栅的方法, 并将制成的正弦微窗光栅用于光栅位移传感器的设计。实验表明, 新型传感器能够很好地抑制光栅信号中的高次谐波, 可将高次谐波总量降至基波的2%以下。

正弦微窗光栅位移传感器谐波

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光学学报

1999, 19(9): 1153