红外与激光工程, 2018, 47 (10): 1020001, 网络出版: 2018-11-25   

横向压电驱动变形镜的迟滞特性及其闭环校正

Hysteresis characteristics and closed loop correction of unimorph deformable mirror
作者单位
1 国防科学技术大学 机电工程与自动化学院, 湖南 长沙 410073
2 超精密加工湖南省重点实验室, 湖南 长沙 410073
3 国防科学技术大学 光电科学与工程学院, 湖南 长沙 410073
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范占斌, 戴一帆, 铁贵鹏, 关朝亮, 宁禹, 刘俊峰. 横向压电驱动变形镜的迟滞特性及其闭环校正[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(10): 1020001. Fan Zhanbin, Dai Yifan, Tie Guipeng, Guan Chaoliang, Ning Yu, Liu Junfeng. Hysteresis characteristics and closed loop correction of unimorph deformable mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(10): 1020001.

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