140GHz MEMS矩形波导滤波器 | 红外与毫米波学报 -- 中国光学期刊网

红外与毫米波学报, 2013, 32 (2): 165, 网络出版: 2013-04-18

140GHz MEMS矩形波导滤波器

MEMS rectangular waveguide filter at 140 GHz

赵兴海 ^1,*单光存 ²郑英彬 ¹杜亦佳 ³陈颖慧 ¹鲍景富 ³苏伟 ¹

作者单位

¹ 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳 621900

² 香港城市大学物理与材料科学系, 中国香港

³ 电子科技大学,四川成都 613800

波导滤波器太赫兹 waveguide filter THz DRIE DRIE

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