中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621999
为使声表面波(SAW)滤波器技术向更高的频段发展, 对SAW滤波器的基础理论进行了分析：展示了压电材料压电效应(逆压电效应)的产生机理, 并通过例子对比说明压电材料的晶体结构属性。介绍了重要的物理量机电耦合系数以及SAW传播的物理机理；重点推导了SAW在压电介质中的传播性质, 并同非压电介质的传播特性进行了对比。得出SAW在压电介质中是非色散波, 存在3个方向的质点位移分量；压电薄膜中SAW是色散波, 且压电薄膜使得声表面波速度发生变化。
声表面波 Rayleigh波 压电效应 压电薄膜 Surface Acoustic Wave Rayleigh wave piezoelectricity piezoelectric film 太赫兹科学与电子信息学报
2016, 14(3): 467
1 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川 绵阳 621900
2 香港城市大学 物理与材料科学系, 中国 香港
3 电子科技大学,四川 成都 613800
设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺, 首次制造出了D波段 MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4～0.7 dB, 中心频率(140±3) GHz, 带外抑制为≥18 dB, 样品主要技术指标与设计值符合.
波导滤波器 太赫兹 waveguide filter THz DRIE DRIE
1 中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621900
2 西南科技大学信息工程学院, 四川 绵阳 621010
3 西南科技大学制造科学与工程学院, 四川 绵阳 621010
设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器, 其中心频率为400MHz, 叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅基金刚石薄膜基片, 利用射频溅射方法在金刚石薄膜上制备了厚度为2μm的ZnO压电薄膜, XRD分析证明其具有良好的C轴取向。采用剥离工艺制备IDT, 通过精细的工艺控制, 得到了设计的IDT图形。最后, 对该滤波器样品进行了封装和测试。测试结果表明, 其中心频率为378MHz, 插损为15.9dB。
射频微机械系统 声表面波 金刚石薄膜 压电薄膜 叉指换能器 RF MEMS SAW diamond film piezoelectric thin film IDT
