激光与光电子学进展, 2002, 39 (5): 33, 网络出版: 2006-08-08
用于光波网络的微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)
摘要
硅微型机械是个新兴领域,它正使几乎每一科技领域都变得紧凑。在各种领域中,如化学、汽车、细胞和光通讯工业,硅微型机械正成为许多问题解答的选择。本文介绍什么是微机电系统,它们如何制造以及它们对光波网络系统革命有怎样的潜力。正如光开关、可变吸收体、主动平均器、加/减多路传输器、光交叉互连、增益倾斜平衡器、数据传送器和许多其他元件,正开始在先进光波系统中寻找无所不在的应用。本文将给出这些器件的例子,并描述对这种技术可能有数十亿美元市场中所面临的一些挑战。
Abstract
参考文献
傅恩生. 用于光波网络的微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)[J]. 激光与光电子学进展, 2002, 39(5): 33. 傅恩生. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2002, 39(5): 33.
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