红外与激光工程, 2017, 46 (3): 0302001, 网络出版: 2017-06-27   

光学显微三维测量解耦合准则

3D measurement decoupling criterion in optical microscopy
作者单位
哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所, 黑龙江 哈尔滨 150080
基本信息
DOI: 10.3788/irla201746.0302001
中图分类号: TB96
栏目: 专家报告
项目基金: 国家重大科学仪器设备开发项目(2011YQ040087)、 国防工业基础研究项目(2013xe0873)、 国家自然科学基金(51275121)
收稿日期: 2016-08-05
修改稿日期: --
网络出版日期: 2017-06-27
通讯作者:
备注: --

刘俭, 谷康, 李梦周, 谭久彬. 光学显微三维测量解耦合准则[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(3): 0302001. Liu Jian, Gu Kang, Li Mengzhou, Tan Jiubin. 3D measurement decoupling criterion in optical microscopy[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(3): 0302001.

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